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飞行时间二次离子质谱是一种灵敏的表面分析技术，可以广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三维样品的元素，分子等结构信息。
技术参数：
.并行探测所有离子，包括有机和无机分子碎片。
.无限的质量探测范围（实际测量中大于1000m/z原子量单位）。
.*透过率下实现高的质量分辨率。
.高的横向和纵向空间分辨率（横向小于100纳米，纵向小于1纳米）。
.探测灵敏度可达ppm或ppb量级。
.质量探测分辨率(M/ΔM)>1000
.质量探测准确度≥20milli质量单位
.反射性分析器
.5分钟样品腔真空度可从大气环境达到真空工作环境
主要特点：
.超高的表面灵敏度(1x109atoms/cm2)
·操作简单(?daytraining)
·1分钟分析，样品处理流程<7分钟
·导体和绝缘体表面均可测试
·可得到元素和分子信息
·从元素中分离出普通有机物
·正电和负电的二次离子质谱
·同位素分析
·分析面积~0.5mm
·溅射预清洗表面
·提供材料数据库
更多详情：http://www.airtest.net.cn/Products-30752620.html
https://www.chem17.com/st17159/product_30752620.html
飞行时间二次离子质谱