纳米压印光刻设备

GL300MLA是天仁微纳新型专门为晶圆级光学加工(WLO-WaferLevelOptics)开发的全自动紫外纳米压印光刻设备,可在200/300mm基底面

  • 产品单价: 面议
  • 品牌:

    纳米压印光刻设备

  • 产地:

    河南 洛阳市

  • 产品类别:化工网
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    长期有效

  • 发布时间:

    2024-04-10 13:50

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品牌:

纳米压印光刻设备

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河南 洛阳市

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详情介绍

GL300MLA是天仁微纳新型专门为晶圆级光学加工(WLO-WaferLevelOptics)开发的全自动紫外纳米压印光刻设备,可在200/300mm基底面积上平行复制生产聚合物光学器件。  
GL300MLA全自动紫外纳米压印光刻设备支持cassettetocassette自动上下片、自动复制柔性复合工作模具,工作模具自动更换。整个工艺过程在密闭洁净环境中进行,以保证压印结果质量。内置的高精度自动点胶系统、APC(主动模具基底平行控制)技术、以及自动脱模功能都保证了大面积晶圆级光学生产的精度、均匀性(TTV)与良率。同时,自动模具基底对位系统还可实现晶圆之间对位堆叠工艺(WLS-WaferLevelStacking)。  
GL300MLA全自动紫外纳米压印光刻设备适用于DOE、匀光片(Diffuser)、微透镜阵列、菲涅尔透镜等产品的研发和量产。  
主要功能  
●全自动200/300mm晶圆级光学加工(WLO)生产线  
●APC主动模具基底平行控制技术,确保大面积晶圆压印TTV均匀性  
●Cassettetocassette自动上下片,光学巡边预对位  
●设备内自动复制柔性复合工作模具,同时支持自动更换工作模具,适合连续生产  
●内置高精度自动点胶功能  
●自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程在密闭洁净环境中自动进行,以保证压印质量  
●标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>1000mW/cm2),水冷冷却,特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制,支持各种商用纳米压印材料  
●随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括标准示范WLO等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际的纳米压印水平
https://www.chem17.com/st472071/product_38112454.html 
http://www.qdgermanlitho.com/Products-38112454.html 
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